立川（无锡）半导体设备有限公司
立川（无锡）半导体设备有限公司（以下简称“无锡立川”）隶属于立川（珠海）智能科技设备有限公司（集团总部），是集团在半导体检测设备领域的核心制造与研发主体。集团旗下拥有珠海（母公司）、无锡、明光、杭州等多家子公司，形成覆盖研发、制造、销售与服务的跨区域产业布局。
无锡立川聚焦半导体检测领域，主营TGG-P200、TGG-P300、TGG-T200、TGG-T300等探针台设备，并配套提供晶圆清洗及研磨减薄设备，产品服务于集成电路晶圆制造过程中的CP测试环节。
技术研发方面，公司依托中日联合开发模式，在光学图像处理与精密运动控制方向拥有自主研发成果，并已应用于现有产品中。供应链方面，公司结合国内产业配套资源，构建了稳定的供应链体系。
2023年，无锡立川通过江苏省高新技术企业认定。截至2026年6月，集团累计拥有65项知识产权，其中15项发明专利覆盖晶圆定位、探针接触控制等核心环节，25项软件著作权涵盖TGG系列探针台控制系统。
无锡立川将持续深耕半导体晶圆CP测试工艺领域，以定制化解决方案助力客户应对检测环节的技术挑战。
60+
拥有 60 多项专利
8英寸
8 英寸自动晶圆探针台前沿技术
12英寸
12 英寸自动晶圆探针台前沿技术
2016年
2016年成立日本TOT精密株式会社
Established in 2016, TOT Precision Co., Ltd in Japan
2017年
2017年正式更名为立川技研株式会社
In 2017,it was officially renamed as Tachkawa Technology Research Co., Ltd
2020年
2020年成立立川日本关西分公司
Established Tachikawa Kansai Branch in 2020
2021年
成立立川(珠海)智能科技设备有限公司
成立立川(无锡)半导体设备有限公司
Established in 2021, Tachikawa(Zhuhai) Intelligent Technology Equipment Co., Ltd
Tachikawa(Wuxi) Semiconductor Equipment Co., Ltd
2025年
成立明光立川精密设备有限公司
Established in 2025, Mingguang Tachikawa Precision Equipment Co., Ltd.
2026年
成立立川（杭州）半导体设备有限公司
Established in [Year], Tachikawa (Hangzhou) Semiconductor Equipment Co., Ltd.
CN