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探针台·TGG-T200
支持4/5/6/8英寸晶圆测试的升级型全自动探针台。
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探针台·TGG-T300
支持8/12英寸晶圆测试的升级款型全自动探针台。
探针台·TGG-P200
支持4/5/6/8英寸晶圆测试的基础型全自动探针台。
探针台·TGG-P300
支持8/12英寸晶圆测试的基础型全自动探针台
IWC 晶圆清洗机
取代RCA清洗，支持3-12英寸晶圆， 结合IWC生成设备，实现化学废液零排放的绿色清洗。
晶圆研磨抛光减薄 复合一体机
1、省去工序间转运，效率倍增 2、一台设备替代多台，节省空间与成本
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