PRODUCT
IWC 晶圆清洗机
取代RCA清洗，支持3-12英寸晶圆，
结合IWC生成设备，实现化学废液零排放的绿色清洗。
IWC 清洗设备规格： 单片式/槽式
加工对象尺寸： 3/4/6/8/12 inch
清洗液对应：IWC (机台内建生成设备)/ 各种药液/纯水等
IWC 生成设备，标准生成量： 15 L/hr（可变更规格）
设备装配
上下喷嘴
纯水、空气、IWC
超音波
流水超音波 ：2个，1 MHz/400kHz
振动体超音波：1MHz
参数规格
| 规格 | 单片式 | 槽式 |
| 型号 | LC-200/300-SW | LC-5C1D-B |
| 设备尺寸 | 1400W x 1400D x 2050H | 5800W x 1000D x 2000H |
| 需要设备 | 纯水：IN0.2MPa over 5L/min C-PVC15A OUT C-PVC15A 排液：PVC-25A 排气：φ100要抽吸 电源：φ3 AC200V 60A 干空气：over 0.5MPa 8A | 純水：IN 0.2MPa over 5L/min C-PVC15A OUT C-PVC15A 排液：PVC-25A 排气：φ200要抽吸 电源：φ3 AC200V 60A 干空气：φ12 |
| 处理能力 | 4min/per wafer~ | 冷却水：15A |
内容选择
| 单片式 | 槽式 | |
| 晶圆尺寸 | 3/4/6/8/12inch（需事前选择1种或多种） | |
| 清洗方式 | 定点超音波清洗 / 线式超音波清洗刷洗 / 二流体 | 超声波/浸渍 |
| 清洗液 | IWC/DIW etc. | IWC / DIW / IPA etc. |
| 夹头方式 | 边沿夹头 | 真空夹头 |
CN
