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探针台·TGG-P200
支持4/5/6/8英寸晶圆测试的基础型全自动探针台。
设备工艺简介
一、设备性能
· 设备功能：自动上下料、自动定位、自动测试、自动打点、OCR（晶圆测试工艺）
· 晶圆尺寸：4寸/5寸/6寸/8寸
· 综合精度：XY--±1μm；Z--±2μm
· Index Time：180ms(X-6mm, Z-0.5mm)
二、设备功能
· 设备布局：CAS升降台、上下-FORK/预定位/OCR、chuck( XYZΘ对位平台）
· 上下料：上FORK用于上料、下FORK用于下料
· 位置确认：采用独立图像校正
· 图像对位：探针位置--采用下CCD结构；晶圆位置--采用上CCD结构；500万像素数字相机，搭载高解析度高低倍光学镜头与光源
参数规格
| 参数 | 规格 |
| 产品型号 | TGG - P200 |
| 自动级别 | 全自动 |
| 工作环境 | 220V，50/60Hz |
| 设备尺寸 | 1000（W）x 1100（D）x 1400（H） |
| X/Y/Z/θ行程 | 230mm、260mm、70mm、±5° |
| X/Y/Z/θ分辨率 | 0.1μm、0.1μm、0.1μm、0.0001° |
| 晶圆尺寸 | 4寸 / 5寸 / 6寸 / 8寸 |
| 综合精度 | XY：±1μm Z：±2μm |
| Index Time | 180ms（X：6mm，Z：0.5mm） |
| 最大顶升力 | 60kg |
| 测试温度 | 常温~150℃（标配）- 55℃~200℃（选配） |
| Chuck 平面度 | 常温≤8μm 高温≤15μm 低温<20μm |
设备功能
| 设备布局 | CAS 升降台、上下- FORK / 预定位 / OCR、chuck(XYZθ对位平台) |
|---|---|
| 上下料 | 上 FORK 用于上料、下 FORK 用于下料 |
| 位置确认 | 采用独立图像校正 |
| 图像对位 | 探针位置、采用下CCD 结构，晶圆位置，采用上CCD 结构， 500万像素数字相机，搭载高解析度高低倍光学镜头、光源 |
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